フォトリソグラフィ

4 実験方法 本実験では，以下に示すフォトリソグラフィの一連の操作を2回行った．1回目で基板ウェハ上の2箇所に丸囲み十字のマーカーを印字し，2回目でその印を基準としてさらにあるパターンを印字した．これら2回の操作は，2回目の露光の際に1回目に印字したマーカーとフォトマスク上の...

レポート 理工学 フォトリソグラフィ エッチング レジスト

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• 2006/02/10
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• hamigakiko