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マイクロ加工に用いられる粒子を示し,それらの特徴と加工上の特徴を述べている

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生産加工学

レポート課題

1. マイクロ加工に用いられる粒子を示し，それらの特徴と加工上の特徴を述べよ．

■マイクロ加工に用いられる粒子
マイクロ加工に用いられる粒子は，光，電子，イオン，が挙げられる．
あらゆる物質を構成する元となる原子は，その物質固有の性質を有する最小単位であり，原子は原子核
とその周りを回転するいくつかの電子群から成り立っている．
原子になんらかの形でエネルギーを与えると，安定な状態にあった原子はそのエネルギーを吸収して，
不安定ではあるが高いエネルギー状態になる．これを励起状態といい，低い準位に落ちていくときに光
を放出する．
原子内の電子のとりうるエネルギーは，不連続に変化するとびとびの値であるために，電子は核の周り
に定常波を形成し，いつまでも安定に存在する．したがって電子がエネルギーを失うのは，ある定常波
の状態から別の状態に移る場合だけであり，そのときに状態間のエネルギー差に相当する光（電磁波）
が放出される．このとき放出されるのは光子である．
電子が 1 個飛び去ると原子は＋ e の電荷をもった粒子となる．このような荷電原子はイオンとよばれ
る．...

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