マイクロ加工に用いられる粒子の特徴と加工上の特徴

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資料紹介

マイクロ加工に用いられる粒子を示し,それらの特徴と加工上の特徴を述べている

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生産加工学

レポート課題

1. マイクロ加工に用いられる粒子を示し,それらの特徴と加工上の特徴を述べよ.

■マイクロ加工に用いられる粒子
マイクロ加工に用いられる粒子は,光,電子,イオン,が挙げられる.
あらゆる物質を構成する元となる原子は,その物質固有の性質を有する最小単位であり,原子は原子核
とその周りを回転するいくつかの電子群から成り立っている.
原子になんらかの形でエネルギーを与えると,安定な状態にあった原子はそのエネルギーを吸収して,
不安定ではあるが高いエネルギー状態になる.これを励起状態といい,低い準位に落ちていくときに光
を放出する.
原子内の電子のとりうるエネルギーは,不連続に変化するとびとびの値であるために,電子は核の周り
に定常波を形成し,いつまでも安定に存在する.したがって電子がエネルギーを失うのは,ある定常波
の状態から別の状態に移る場合だけであり,そのときに状態間のエネルギー差に相当する光(電磁波)
が放出される.このとき放出されるのは光子である.
電子が 1 個飛び去ると原子は+ e の電荷をもった粒子となる.このような荷電原子はイオンとよばれ
る....

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