資料紹介

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圧電アクチュエータ
１　実験目的
・微小変位の発生、位置決めなどに利用される圧電アクチュエータの特性を理解する。

・圧電アクチュエータの応用例として、表面波モータについて特性を理解する。
２　実験原理・実験内容
１．　バイモルフ形圧電アクチュエータの基礎特性（静特性・動特性）
強誘電体に応力による歪みを加えると、表面に電圧を発生し（圧電効果）、逆に強誘電体に電圧を印加すると、歪みが生じる（逆圧電効果）。逆圧電効果において、電界の方向と分極の方向が同じとき、分極方向と同方向には伸びの歪み（縦効果）、直角方向には縮みの歪み（横効果）が生じる。圧電横効果による歪みを利用したものがバイモルフ形圧電アクチュエータ（図１）である。本実験ではバイモルフ形圧電アクチュエータの基礎特性について、
図１：バイモルフ形圧電アクチュエータのモデル図

①：直流出力電圧を印加することで静特性を

②：ステップ入力と正弦波入力をすることで動特性を調べた。
　

２．　回転形表面波モータの特性測定（駆動電圧波形の確認・負荷特性）
図３：回転形表面波モータの負荷特性試験の様子表面波モータでは、弾性体の表面上に圧電素...

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