1 実験の目的
気体の流れの物理を学び、系の到達圧力を決定している要因を理解する。
2 実験装置
(図Ⅰ)のような実験装置を準備する。本装置は、真空容器1、2と間を接続するバルブ
付きの三本の導管からなる。真空は真空容器2に接続してあるロータリーポンプ(
RP
)を
用いて引き、圧力は各容器上部のピラニゲージ(
PG
)で測定する。真空容器には、リークバ
ルブ(
LV
)が取り付けてあり、容器2とロータリーポンプ間は、主排気バルブ(
MV
)で接
続してある。
3 実験原理
コンダクタンスとは、(図Ⅱ)のような系において、
で定義される、気体の流入出のしやすさをあらわす量である。
P1,P2
は容器内の圧力であ
り、
Q
は配管を流れる気体流量である。本実験では、較正と補正を測定しながら、系のコンダ
クタンスの量を得る事が本筋である。
4 実験手順
手順1 真空状態とポンプの動作確認
系のバルブの開閉を適、
RP
ス入れ、
MV
と
RP
間配管を真空に引次
に、
MV
、すの導管バルブ(
CV
)の順に開け、
PG
のス入れる。
PG
の真空下
がりかわらなる引
手順2 ピニ
1
実験の目的
気体の流れの物理を学び、系の到達圧力を決定している要因を理解する。
2
実験装置
(図Ⅰ)のような実験装置を準備する。本装置は、真空容器1、2と間を接続するバルブ
付きの三本の導管からなる。真空は真空容器2に接続してあるロータリーポンプ(RP)を
用いて引き、圧力は各容器上部のピラニゲージ(PG)で測定する。真空容器には、リークバ
ルブ(LV)が取り付けてあり、容器2とロータリーポンプ間は、主排気バルブ(MV)で接
続してある。
3
実験原理
コンダクタンスとは、(図Ⅱ)のような系において、
で定義される、気体の流入出のしやすさをあらわす量である。P1,P2 は容器内の圧力であ
り、Q は配管を流れる気体流量である。本実験では、較正と補正を測定しながら、系のコンダ
クタンスの量を得る事が本筋である。
4
実験手順
手順1
真空状態とポンプの動作確認
系のバルブの開閉を適切に行い、RP スイッチを入れ、MV と RP 間配管を真空に引く。次
に、MV、すべての導管バルブ(CV)の順に開け、PG のスイッチを入れる。PG の真空度の下
がり値がほ...